本特殊气体吸收塔针对半导体外延、扩散及CVD工艺中排出的稀释特气或尾气残余进行应急或集中吸收。塔体采用高强度PPH板材制成，结构经过防渗漏与气密性强化处理。内部配置专门的喷嘴矩阵与高化学活性的吸收液，可实现对特定毒性或腐蚀性气体的快速吸附与化学中和。系统运行稳定、响应迅速，是半导体厂区特气室及工艺尾气安全防护的关键环保设备。
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推荐材质耐化学级聚丙烯(PPH)板/管材
规格边界非标定制; 气密性正压测试5000Pa无泄漏
典型场景半导体CVD/刻蚀工艺特气尾气应急处理、特气柜排风净化
询价需提供介质、浓度、温度、流量/容积、安装空间、接口位置、图纸或现场照片