
PPH SC2清洗槽用于盐酸、双氧水和纯水体系的金属离子去除及精密表面清洗,可配套循环过滤、溢流、补液、排放和排风系统。PPH对盐酸及多种酸性介质有良好耐受性,但SC2中含氧化性成分,需根据双氧水比例、工作温度和工艺时间核定适用边界。槽体可按晶圆篮、硅片夹具或工件尺寸定制,设置加强筋和支撑结构,减少满液及温差条件下的变形。
推荐材质PPH耐酸碱板材
规格边界按槽容及夹具尺寸定制
典型场景SC2金属离子清洗工艺
询价需提供介质、浓度、温度、流量/容积、安装空间、接口位置、图纸或现场照片
