半导体专用

PPH光刻显影槽

PPH光刻显影槽适用于光刻后显影、定影及配套纯水冲洗等湿法段,可配置溢流、排液、喷淋、液位、盖板和管口接口

PPH光刻显影槽

PPH光刻显影槽适用于光刻后显影、定影及配套纯水冲洗等湿法段,可配置溢流、排液、喷淋、液位、盖板和管口接口。槽体采用PPH板材焊接成型,耐酸碱和多数有机弱腐蚀环境,便于与PP管路、阀门连接。显影液成分、温度和清洗剂兼容性需提前确认,长期工作温度建议不超过80–100℃,大尺寸槽体宜设置加强结构。

推荐材质PPH板材焊接结构
规格边界按槽长宽深定制
典型场景光刻显影及湿法处理线
询价需提供介质、浓度、温度、流量/容积、安装空间、接口位置、图纸或现场照片