本品专用于半导体湿法工艺中的高纯度化学品安全分配。箱体采用高纯级PPH板材双面熔焊工艺制造,密闭性优异,可防止酸碱气体外泄。内部合理配置阀门管路矩阵、流量监控与防漏液传感系统。结构设计兼顾操作便利性与维护安全性,支持多路化学品的分流与精密配给,满足洁净室环境下的严苛化学品管理要求,有效保障高纯试剂在输送终端的纯度稳定性。
推荐材质微电子级高纯聚丙烯(PPH)
规格边界非标定制; 最大承受压力0.6MPa
典型场景半导体洁净室高纯酸碱、湿法刻蚀与清洗液的集中分配
询价需提供介质、浓度、温度、流量/容积、安装空间、接口位置、图纸或现场照片