PPH晶圆载具用于湿法清洗、蚀刻、冲洗及转运环节的晶圆承托,可按片径、片数、槽距和机械手夹取位置定制。结构采用焊接、机加工或折弯组合方式,边角倒钝,减少接触划伤风险。PPH材质耐酸碱、耐多数清洗药液,适合常温至中温工况,涉及强氧化性介质时需核对浓度、温度和接触时间。
推荐材质PPH均聚聚丙烯板材
规格边界2-12英寸晶圆可定制
典型场景晶圆湿法清洗与槽间转运
询价需提供介质、浓度、温度、流量/容积、安装空间、接口位置、图纸或现场照片
半导体专用
PPH晶圆载具用于湿法清洗、蚀刻、冲洗及转运环节的晶圆承托,可按片径、片数、槽距和机械手夹取位置定制
PPH晶圆载具用于湿法清洗、蚀刻、冲洗及转运环节的晶圆承托,可按片径、片数、槽距和机械手夹取位置定制。结构采用焊接、机加工或折弯组合方式,边角倒钝,减少接触划伤风险。PPH材质耐酸碱、耐多数清洗药液,适合常温至中温工况,涉及强氧化性介质时需核对浓度、温度和接触时间。